Apparatuur voor dampdepositie (ALD, CVD, PECVD)

Kritische processen vereisen snelle real-time feedback van verschillende procesvariabelen. Als er meerdere verwarmingselementen bij betrokken zijn, kan het gebruik van externe transducers om de stroom te controleren veel paneelruimte en bedradingstijd in beslag nemen. De NRG is een schaalbare solid-state relaisoplossing die werkt op een buskettingontwerp. Elk solid state relais en/of solid state contactor heeft een ingebouwde stroom- en spanningsmeting en andere relevante parameters. Al deze gegevens worden in real-time uitgewisseld met een hoofdcontroller, NRGC, die de belangrijkste interface is naar de PLC van de machine. Er zijn verschillende protocollen beschikbaar, waaronder EtherCAT, EtherNet/IP, Modbus TCP/IP en Profinet. Intelligente diagnostiek zoals belastingsafwijking kan ook een afwijking van de verwarming ten opzichte van een ingestelde waarde aangeven en zo een mogelijke storing van de verwarming voorspellen.

Proportionele regelaars, ook bekend als SCR's, nemen de last weg van het omzetten van analoge signalen van thermokoppels in digitale (PWM) signalen. Een analoge stroom (0 - 20 mA, 4 - 20 mA) of een analoge spanning (0 - 10 VDC) kan rechtstreeks naar de stuuringang van de RGC1P, RGC2P of RGC3P gevoerd worden en de uitgangsspanning naar het verwarmingselement zal proportioneel variëren. Deze regelmethode resulteert in een zeer fijne regelstrategie die temperatuuroverschrijdingen minimaliseert.
Een andere functie binnen de RGC.P productfamilie is de softstartfunctie. De zachte start is ideaal voor toepassingen die gebruik maken van kortegolf-infraroodverwarmers (SWIR), omdat deze de initiële inschakelstroom die optreedt wanneer SWIR-verwarmers vanuit een koude toestand worden ingeschakeld, met >40% vermindert.

Depositieapparatuur heeft meestal een reeks 1-fase verwarmingselementen. De RGC solid-state magneetschakelaars hebben een slank en compact ontwerp om zo weinig mogelijk ruimte in te nemen in het elektrische paneel.
De RGC-serie is verkrijgbaar in twee verschillende klemconfiguraties, namelijk "E-type", een configuratie die lijkt op die van een elektromechanische contactor, en "U-type", ook wel relaisconfiguratie genoemd omdat de belastingklemmen zich aan dezelfde kant van de solid state contactor bevinden. Het "U-type" heeft soms de voorkeur omdat het een betere kabeldistributie in het paneel mogelijk maakt.

Een verwarmingsonderbreking of een thermische runaway, als gevolg van een kortsluiting in een verwarmingselement, zijn twee kritieke problemen in de meeste thermische processen. Een open verwarming zal leiden tot een temperatuurdaling binnen de zone, terwijl een kortstondige verwarming zal leiden tot een ongecontroleerde verwarmingszone, wat kan resulteren in aanzienlijke waferdefecten en hoge uitvalkosten.
De RGC1S solid-state relais- en contactorserie integreert stroombewaking om een storing in de verwarming te detecteren. Gebaseerd op een "teach"-functie vergelijkt de RGC1S de gemeten stroom met de stroom die tijdens de "teach"-functie is opgeslagen en controleert op eventuele stroomafwijkingen voor maximaal 6 verwarmers die op het relais zijn aangesloten.

Depositieprocessen kunnen ook verwarmingselementen met een relatief laag vermogen (ongeveer 500W tot 750W) vereisen, waardoor een zeer lage schakelstroom nodig is. De RP1A-serie solid-state relais is ontworpen in een zeer slanke behuizing (10,5 mm) en kan rechtstreeks op een PCB worden gemonteerd of, met de optionele accessoire, ook op een DIN-rail worden gemonteerd, wat resulteert in een plug-and-play oplossing die minimale ruimte inneemt.

Productieprocessen voor siliciumwafers verbruiken een aanzienlijke hoeveelheid elektrische energie. Met een steeds grotere focus op energie-efficiëntie worden energiemeters steeds meer geïntegreerd in halfgeleiderapparatuur om energiemonitoring van de complete apparatuur mogelijk te maken.
Onze meters voor DIN-railmontage hebben zowel externe CT-aansluitingen (stroomtransformator) als op directe aansluitingen gebaseerde ingangen. De serie DIN-railmeters wordt gekenmerkt door de compacte afmetingen en het gebruiksgemak. Er zijn zowel eenfasige als driefasige energiemeters verkrijgbaar.

De WM-serie vermogensanalysatoren heeft een modulair ontwerp waarmee gebruikers de gewenste functies kunnen selecteren door een of meer modules aan de WM-basiseenheid toe te voegen. WM20, WM30 en WM40 kunnen in elk schakelbord worden geïnstalleerd om het energieverbruik, de belangrijkste elektrische variabelen en harmonische vervorming te controleren. De insteekmodules omvatten communicatiemodules zoals Modbus RTU, Modbus TCP/IP.

Geschakelde voedingen spelen een cruciale rol bij het voeden van de meeste kritieke componenten in het elektrische paneel van halfgeleiderapparatuur.
De SPDC-serie voedingen voor DIN-railmontage biedt een aantal unieke eigenschappen, zoals een ultraslank ontwerp, geïntegreerde PFC en een efficiëntie tot 96%.
De schakelende voedingen kunnen werken op een breed ingangsspanningsbereik en handhaven een zeer stabiele uitgangsgelijkspanning om ervoor te zorgen dat alle kritieke componenten zoals PLC's en HMI's veilig van stroom worden voorzien.