Udstyr til dampudfældning (ALD, CVD, PECVD)

Kritiske processer kræver hurtig feedback i realtid af forskellige procesvariabler. Når flere varmeelementer er involveret, kan brug af eksterne transducere til overvågning af strømmen kræve betydelig panelplads og tid til ledningsføring. NRG er en skalerbar solid state-relæløsning, der fungerer i et buskædedesign. Hvert solid state-relæ og/eller solid state-kontaktor har indbygget strøm- og spændingsmåling samt andre relevante parametre. Alle disse data udveksles i realtid med en hovedcontroller, NRGC, som er den primære grænseflade til maskinens PLC. Forskellige protokoller er tilgængelige, herunder EtherCAT, EtherNet/IP, Modbus TCP/IP og Profinet. Intelligent diagnostik som f.eks. belastningsafvigelse kan også fremhæve varmerens afvigelse fra en indstillet værdi og dermed forudsige en mulig varmerfejl.

Proportionalregulatorer, også kendt som SCR'er, fjerner byrden ved at konvertere analoge signaler fra termoelementer til digitale (PWM) signaler. En analog strøm (0-20 mA, 4-20 mA) eller en analog spænding (0-10 VDC) kan tilføres direkte til kontrolindgangen på RGC1P, RGC2P eller RGC3P, og udgangsspændingen til varmelegemet vil variere proportionalt. Denne kontrolmetode resulterer i en meget fin kontrolstrategi, der minimerer temperaturoverskridelser.
En anden funktion i RGC.P-produktfamilien er soft start-funktionen. Soft start er ideel til applikationer med kortbølgede infrarøde varmelegemer (SWIR), da den reducerer den indledende indkoblingsstrøm, der opstår, når SWIR-varmelegemer tændes fra en kold tilstand, med >40 %.

Deponeringsudstyr har typisk en række 1-fasede varmeelementer. RGC solid state-kontaktorerne kommer i et slankt og kompakt design for at minimere pladsbehovet i det elektriske panel.
RGC-serien fås i to forskellige terminalkonfigurationer, nemlig "E-type", som er en konfiguration, der efterligner en elektromekanisk kontaktor, og "U-type", som også kaldes relækonfiguration, da belastningsterminalerne sidder på samme side af solid state-kontaktoren. "U-typen" foretrækkes nogle gange, da den giver mulighed for en bedre kabelfordeling i panelet.

Et varmelegeme, der går i stykker, eller et varmelegeme, der løber løbsk på grund af en kortslutning, er to kritiske problemer i de fleste termiske processer. Et åbent varmelegeme vil resultere i et temperaturfald i zonen, mens et kortvarigt varmelegeme vil resultere i en ukontrolleret opvarmningszone, som kan medføre betydelige waferdefekter og høje skrotomkostninger.
RGC1S solid state-relæ- og kontaktorserien integrerer strømovervågning for at opdage varmesvigt. Baseret på en "teach"-funktion sammenligner RGC1S den målte strøm med den, der er gemt under "teach"-funktionen, og kontrollerer for enhver strømafvigelse for op til 6 varmelegemer, der er tilsluttet relæet.

Aflejringsprocesser kan også kræve varmeelementer med relativt lav effekt (omkring 500W til 750W), hvilket kræver en meget lav koblingsstrøm. RP1A-serien af solid state-relæer er designet i et meget slankt hus (10,5 mm) og kan monteres direkte på et printkort eller, med det valgfrie tilbehør, også monteres på DIN-skinne, hvilket giver en plug and play-løsning, der optager minimal plads.

Produktionsprocesser for siliciumskiver bruger en betydelig mængde elektrisk energi. Med et stadigt stigende fokus på energieffektivitet bliver energimålere i stigende grad integreret i halvlederudstyr for at muliggøre energiovervågning af det komplette udstyr.
Vores DIN-skinnemonterede målere har både ekstern strømtransformertilslutning (CT) og direkte tilslutningsbaserede indgange. Udvalget af DIN-skinnemålere er kendetegnet ved sine kompakte dimensioner og brugervenlighed. Der findes både enfasede og trefasede energimålere.

WM-serien af effektanalysatorer har et modulært design, der giver brugerne mulighed for at vælge de nødvendige funktioner ved at tilføje et eller flere moduler til WM-basenheden. WM20, WM30 og WM40 kan installeres i enhver tavle for at kontrollere energiforbruget, de vigtigste elektriske variabler og harmonisk forvrængning. Plug-in-modulerne omfatter kommunikationsmoduler som Modbus RTU, Modbus TCP/IP.

Switch mode-strømforsyninger er en afgørende del af strømforsyningen til de fleste af de kritiske komponenter i det elektriske panel i ethvert halvlederudstyr.
SPDC-serien af strømforsyninger til montering på DIN-skinne har en række unikke egenskaber som f.eks. et ultrasmalt design, integreret PFC og en effektivitet på op til 96 %.
Switch mode-strømforsyninger kan arbejde med en bred vifte af indgangsspændinger og opretholder en meget stabil DC-udgangsspænding for at sikre, at alle kritiske komponenter som PLC'er og HMI'er får strøm på en sikker måde.