Utrustning för förångningsdeponering (ALD, CVD, PECVD)

Kritiska processer kräver snabb återkoppling i realtid av olika processvariabler. När flera värmeelement är inblandade kan externa givare för övervakning av strömmen ta mycket plats i panelen och kräva mycket tid för kabeldragning. NRG är en skalbar solid state-relälösning som fungerar med en busskedjedesign. Varje solid state-relä och/eller solid state-kontaktor har inbyggd ström- och spänningsmätning samt andra relevanta parametrar. Alla dessa data utbyts i realtid med en huvudstyrenhet, NRGC, som är det huvudsakliga gränssnittet till maskinens PLC. Olika protokoll finns tillgängliga, bland annat EtherCAT, EtherNet/IP, Modbus TCP/IP och Profinet. Intelligent diagnostik, t.ex. belastningsavvikelse, kan också visa om värmaren avviker från ett inställt värde och därmed förutsäga ett eventuellt fel på värmaren.

Proportionella regulatorer, även kända som SCR, tar bort bördan av att omvandla analoga signaler från termoelement till digitala (PWM) signaler. En analog ström (0-20 mA, 4-20 mA) eller en analog spänning (0-10 VDC) kan matas direkt till RGC1P:s, RGC2P:s eller RGC3P:s styringång och utspänningen till värmaren varierar proportionellt. Den här reglermetoden ger en mycket fin reglerstrategi som minimerar temperaturöverskridanden.
En annan funktion i RGC.P-familjen är mjukstartsfunktionen. Mjukstart är idealisk för applikationer som använder kortvågiga infraröda värmare (SWIR) eftersom den reducerar den initiala startströmmen som uppstår när SWIR-värmare slås på från kallt tillstånd med >40%.

Deponeringsutrustning har vanligtvis en serie 1-fas värmeelement. RGC solid state-kontaktorerna har en elegant och kompakt design för att minimera utrymmet i elpanelen.
RGC-serien finns i två olika plintkonfigurationer, nämligen "E-typ" som är en konfiguration som efterliknar den hos en elektromekanisk kontaktor och "U-typ" som också kallas reläkonfiguration eftersom lastplintarna sitter på samma sida av solid state-kontaktorn. "U-typen" föredras ibland eftersom den möjliggör en bättre kabeldistribution i panelen.

Ett värmarbrott eller en termisk skenande uppvärmning på grund av en kortsluten värmare är två kritiska problem i de flesta termiska processer. Ett öppet värmarfel leder till ett temperaturfall inom zonen medan ett kort värmarfel leder till en okontrollerad uppvärmningszon som kan resultera i betydande waferdefekter och höga skrotningskostnader.
RGC1S solid state-relä- och kontaktorserie integrerar strömövervakning för att upptäcka fel på värmaren. Baserat på en "teach"-funktion jämför RGC1S den uppmätta strömmen med den som lagrats under "teach"-funktionen och kontrollerar om det finns någon strömavvikelse för upp till 6 värmare som är anslutna till reläet.

Depositionsprocesser kan också kräva värmeelement med relativt låg effekt (ca 500W till 750W), vilket kräver en mycket låg switchström. RP1A-serien av solid state-reläer är konstruerade i ett mycket smalt hölje (10,5 mm) och kan monteras direkt på ett kretskort eller, med ett valfritt tillbehör, även monteras på DIN-skena, vilket ger en plug and play-lösning som tar minimalt med utrymme.

Produktionsprocesser för kiselskivor förbrukar en avsevärd mängd elektrisk energi. Med ett allt större fokus på energieffektivitet blir energimätare alltmer integrerade i halvledarutrustning för att möjliggöra energiövervakning av hela utrustningen.
Våra DIN-skenmonterade mätare har både extern anslutning för strömtransformator (CT) och direktanslutningsbaserade ingångar. Sortimentet av DIN-skenmonterade mätare kännetecknas av kompakta mått och användarvänlighet. Både enfas och trefas energimätare finns tillgängliga.

WM-serien av effektanalysatorer har en modulär design som gör det möjligt för användare att välja önskade funktioner genom att lägga till en eller flera moduler till WM-basenheten. WM20, WM30 och WM40 kan installeras i alla elcentraler för att kontrollera energiförbrukning, elektriska huvudvariabler och harmonisk distorsion. Plug-in-modulerna inkluderar kommunikationsmoduler som Modbus RTU, Modbus TCP/IP.

Switchade nätaggregat är en viktig del i strömförsörjningen av de flesta kritiska komponenterna i den elektriska panelen i halvledarutrustning.
SPDC-serien av DIN-skenmonterade nätaggregat har ett antal unika egenskaper, t.ex. en extremt slimmad design, integrerad PFC och verkningsgrader på upp till 96%.
Switchade nätaggregat kan arbeta med ett brett spektrum av ingångsspänningar och bibehåller en mycket stabil DC-utgångsspänning för att säkerställa att alla kritiska komponenter som PLC:er och HMI:er får säker strömförsörjning.