Equipos de deposición de vapor (ALD, CVD, PECVD)

Los procesos críticos requieren una rápida retroalimentación en tiempo real de las distintas variables del proceso. Cuando intervienen varios elementos calefactores, el uso de transductores externos para controlar la corriente puede ocupar mucho espacio en el panel y requerir mucho tiempo de cableado. El NRG es una solución de relé de estado sólido escalable que funciona con un diseño de cadena de bus. Cada relé de estado sólido y/o contactor de estado sólido tiene integrada la medición de corriente y tensión, así como otros parámetros relevantes. Todos estos datos se intercambian en tiempo real con un controlador principal, NRGC, que es la interfaz principal con el PLC de la máquina. Existen diferentes protocolos disponibles, como EtherCAT, EtherNet/IP, Modbus TCP/IP y Profinet. Los diagnósticos inteligentes, como la desviación de la carga, también pueden poner de manifiesto la desviación del calentador con respecto a un valor establecido y predecir así un posible fallo del calentador.

Los controladores proporcionales, también conocidos como SCR, eliminan la carga de convertir las señales analógicas de los termopares en señales digitales (PWM). Una corriente analógica (0 - 20 mA, 4 - 20 mA) o una tensión analógica (0 - 10 VCC) pueden alimentarse directamente a la entrada de control del RGC1P, RGC2P o RGC3P y la tensión de salida al calentador variará proporcionalmente. Este método de control da como resultado una estrategia de control muy precisa que minimiza los excesos de temperatura.
Otra característica de la familia de productos RGC. P es la función de arranque suave. El arranque suave es ideal para aplicaciones que utilizan calentadores infrarrojos de onda corta (SWIR), ya que reduce en >40% la corriente de irrupción inicial que se produce cuando los calentadores SWIR se encienden desde un estado frío.

Los equipos de deposición suelen tener una serie de elementos calefactores monofásicos. Los contactores de estado sólido RGC tienen un diseño elegante y compacto para ocupar el mínimo espacio en el cuadro eléctrico.
La serie RGC se presenta en dos configuraciones de terminales diferentes, a saber, "tipo E", que es una configuración que imita la de un contactor electromecánico, y "tipo U", que también se conoce como configuración de relé, ya que los terminales de carga están en el mismo lado del contactor de estado sólido. A veces se prefiere el "tipo U", ya que permite una mejor distribución de los cables en el panel.

La rotura de un calentador o el desbocamiento térmico debido a un cortocircuito del calentador son dos problemas críticos en la mayoría de los procesos térmicos. El fallo de un calentador abierto provocará un descenso de la temperatura dentro de la zona, mientras que el fallo de un calentador en corto provocará una zona de calentamiento descontrolada que puede dar lugar a importantes defectos en las obleas y a elevados costes de desecho.
La serie de relés y contactores de estado sólido RGC1S integra la supervisión de corriente para detectar fallos en el calentador. Basado en una función "teach", el RGC1S compara la corriente medida con la almacenada durante la función "teach" y comprueba cualquier desviación de corriente para hasta 6 calentadores conectados al relé.

Los procesos de deposición también pueden requerir elementos calefactores de potencia relativamente baja (entre 500 y 750 W), por lo que necesitan una corriente de conmutación muy baja. La serie RP1A de relés de estado sólido está diseñada en una carcasa muy delgada (10,5 mm) y se puede montar directamente en una placa de circuito impreso o, con el accesorio opcional, también se puede montar en carril DIN, lo que resulta en una solución plug and play que ocupa un espacio mínimo.

Los procesos de producción de obleas de silicio consumen una cantidad considerable de energía eléctrica. Con una atención cada vez mayor a la eficiencia energética, los contadores de energía se integran cada vez más en los equipos de semiconductores para permitir la supervisión energética de todo el equipo.
Nuestros contadores para montaje en car ril DIN disponen tanto de conexión externa de transformador de corriente (TC) como de entradas basadas en conexión directa. La gama de contadores para carril DIN se caracteriza por sus dimensiones compactas y su facilidad de uso. Hay disponibles contadores de energía monofásicos y trifásicos.

La serie WM de analizadores de potencia tiene un diseño modular que permite a los usuarios seleccionar las funciones necesarias añadiendo uno o varios módulos a la unidad base WM. WM20, WM30 y WM40 pueden instalarse en cualquier cuadro eléctrico para controlar el consumo de energía, las principales variables eléctricas y la distorsión armónica. Los módulos enchufables incluyen módulos de comunicación como Modbus RTU, Modbus TCP/IP.

Las fuentes de alimentación conmutadas son una parte crucial en la alimentación de la mayoría de los componentes críticos dentro del cuadro eléctrico de cualquier equipo semiconductor.
La serie SPDC de fuentes de alimentación para montaje en carril DIN ofrece una serie de características únicas como un diseño ultrafino, PFC integrado y eficiencias de hasta el 96%.
Las fuentes de alimentación conmutadas pueden funcionar con una amplia gama de tensiones de entrada manteniendo una tensión continua de salida muy estable para garantizar que todos los componentes críticos, como los PLC y los HMI, reciban alimentación de forma segura.