Utstyr for dampdeponering (ALD, CVD, PECVD)

Kritiske prosesser krever rask tilbakemelding i sanntid av ulike prosessvariabler. Når flere varmeelementer er involvert, kan det ta mye plass i panelet og mye tid å koble til eksterne transdusere for å overvåke strømmen. NRG er en skalerbar solid state-releløsning som fungerer i en busskjede. Hvert faststoffrelé og/eller hver faststoffkontaktor har innebygd strøm- og spenningsmåling samt andre relevante parametere. Alle disse dataene utveksles i sanntid med en hovedkontroller, NRGC, som er hovedgrensesnittet til maskinens PLS. Ulike protokoller er tilgjengelige, inkludert EtherCAT, EtherNet/IP, Modbus TCP/IP og Profinet. Intelligent diagnostikk, som for eksempel belastningsavvik, kan også vise varmerens avvik fra en innstilt verdi og dermed forutsi en mulig feil på varmeren.

Proporsjonalregulatorer, også kjent som SCR, fjerner byrden med å konvertere analoge signaler fra termoelementer til digitale signaler (PWM). En analog strøm (0-20 mA, 4-20 mA) eller en analog spenning (0-10 VDC) kan mates direkte til kontrollinngangen på RGC1P, RGC2P eller RGC3P, og utgangsspenningen til varmeren vil variere proporsjonalt . Denne reguleringsmetoden gir en svært fin reguleringsstrategi som minimerer temperaturoverskridelser.
En annen funksjon i RGC.P-produktfamilien er mykstartfunksjonen. Mykstart er ideell for applikasjoner som bruker kortbølgede infrarøde varmeovner (SWIR), ettersom den reduserer startstrømmen som oppstår når SWIR-varmeovner slås på fra kald tilstand, med >40 %.

Deponeringsutstyr har vanligvis en serie med 1-fase varmeelementer. RGC solid state-kontaktorene har en elegant og kompakt design for å minimere plassbehovet i det elektriske panelet.
RGC-serien leveres i to forskjellige terminalkonfigurasjoner, nemlig "E-type", som er en konfigurasjon som etterligner en elektromekanisk kontaktor, og "U-type", som også kalles relékonfigurasjon, siden lastterminalene er på samme side av solid state-kontaktoren. U-typen foretrekkes noen ganger fordi den gir en bedre kabelfordeling i panelet.

Brudd på varmeren eller termisk løpskhet på grunn av en kortslutning er to kritiske problemer i de fleste termiske prosesser. Et åpent varmelegeme vil føre til et temperaturfall i sonen, mens et kortsluttet varmelegeme vil føre til en ukontrollert varmesone som kan resultere i betydelige waferdefekter og høye skrapkostnader.
RGC1S solid state-relé og kontaktorserie integrerer strømovervåking for å oppdage feil på varmeren. Basert på en "teach"-funksjon sammenligner RGC1S den målte strømmen med den som er lagret under "teach"-funksjonen, og kontrollerer om det er avvik i strømmen for opptil 6 varmere som er koblet til reléet.

Avsetningsprosesser kan også kreve varmeelementer med relativt lav effekt (rundt 500 W til 750 W), noe som krever svært lav koblingsstrøm. RP1A-serien med solid state-reléer er designet i et svært slankt hus (10,5 mm) og kan monteres direkte på et kretskort eller, med valgfritt tilbehør, også monteres på DIN-skinne, noe som gir en plug-and-play-løsning som tar minimalt med plass.

Produksjonsprosessene for silisiumskiver forbruker en betydelig mengde elektrisk energi. Med et stadig økende fokus på energieffektivitet blir energimålere i økende grad integrert i halvlederutstyr for å muliggjøre energiovervåking av hele utstyret.
Våre DIN-skinnemonterte målere har både ekstern strømtransformatortilkobling (CT) og direkte tilkoblingsbaserte innganger. Utvalget av DIN-skinnemålere kjennetegnes av sine kompakte dimensjoner og brukervennlighet. Både enfasede og trefasede energimålere er tilgjengelige.

WM-serien med effektanalysatorer har en modulær design som gjør det mulig for brukerne å velge de ønskede funksjonene ved å legge til en eller flere moduler til WM-basenheten. WM20, WM30 og WM40 kan installeres i alle tavler for å kontrollere energiforbruk, elektriske hovedvariabler og harmonisk forvrengning. Plug-in-modulene inkluderer kommunikasjonsmoduler som Modbus RTU, Modbus TCP/IP.

Switch mode-strømforsyninger er en avgjørende del av strømforsyningen til de fleste kritiske komponentene i det elektriske panelet i halvlederutstyr.
SPDC-serien av DIN-skinnemonterte strømforsyninger har en rekke unike egenskaper, som ultratynn design, integrert PFC og virkningsgrader på opptil 96 %.
Switch mode-strømforsyningene kan fungere med et bredt spekter av inngangsspenninger og opprettholder en svært stabil utgangsspenning, slik at alle kritiske komponenter som PLS-er og HMI-er får trygg strømforsyning.